Zチルトステージ｜円筒直動軸受メーカー　ヒーハイスト株式会社

ZチルトステージPRODUCTS

クサビ型Z軸モジュールを3カ所に配置したチルトステージ。

角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエーターの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。

テーブルとアクチュエーターとのジョイント部には、当社製の転がり球面軸受(SRJS)を使用し、高い追従性(指令応答性)を実現いたしました。

ウエハーやインターポーザー等のレベリング調整に最適です。

・転がりの球面軸受(SRJS)を使用し、高い追従性(指令応答性)を実現

・フルクローズド制御にも対応可能

・クサビモジュール採用により、高い耐荷重性

・アクチュエーターの配置変更により、テーブル中央を開口可能

テクニカルインフォメーション

各種製品の2次元・3次元CADデータの閲覧などをご利用頂けます。